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洁净室中的空气分子污染

洁净室中的空气分子污染

持续监测 AMC

空气分子污染(AMC)在生产和加工许多敏感产品(如半导体、PCB 和光学器件)的过程中,会对产品外观及其电子功能产生不利影响。AMC 可能是由于挥发物释放或与任何材料直接接触造成的。空气的批量测试并不能提供足够的控制或解决方案来解决发生的问题。

AMETEK MOCON 提供的分析仪可以连续监测洁净室应用中的 AMC。常见的分析应用包括使用 Baseline 9000 对甲烷和非甲烷碳氢化合物进行检测,使用 piD-TECH 或 Baseline 9100 GC 通过光电离检测总挥发性有机化合物,以及使用 Baseline 9100 GC 检测各种洁净室溶剂。丙酮、IPA、硫、乙醇以及苯系物等芳香烃也很容易通过我们的仪器检测和报告。

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