用于检测空气分子污染物的 BASELINE® 9100 气相色谱仪采用一流的高灵敏度光电离检测 (HS-PID),可实现十亿分之一 (ppb) 的检测水平VOC 污染物可能会扰乱半导体生产。
GC 可以检测空气中多种不同 VOC 并发出警报,包括:TVOC、丙酮、异丙醇、乙醇、苯、甲苯、乙苯、间+对二甲苯、邻二甲苯、PGME、PGMEA.
紧凑的尺寸和设计使该装置非常适合放置在可移动的机架上,可以根据需要从一个房间移动到另一个房间进行测试。
一整套用户可配置的数据收集、存储和输出使 GC 能够以您的语言、您的方式进行操作。 用户可以配置可下载到 USB 驱动器的板载存储、通过 LAN 或 RS-232 的 ASCII 结果、触点闭合继电器和 4-20 mA 模拟输出,以便在需要时获取所需的数据。
VOC 检测限低
- 低于十亿分之一 (ppb) 的检测限
- 其他化合物的干扰最小
- GC 响应速度快
- 易于维护的高灵敏度光电离检测器(HS-PID)
多功能平台
- 彩色液晶显示屏和触摸屏,带有易于使用的菜单
- 尺寸小 (3U),可轻松安装在机架上或集成在可移动推车上
- 可编程警报指示是否存在污染
- 通过 LAN、RS-232、可编程模拟输出和可编程继电器进行灵活的数据存储和输出
- HS-PID 检测器易于现场维护
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BASELINE® 9100气相色谱仪
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单位
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探测器
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按应用选择:
火焰电离(FID)
光电离(PID)
高灵敏度PID(HS-PID)
导热系数(TCD)
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采样
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单点或多点(4或8磅)内部采样器
内置泵可选
可选的外部采样器(基线9150),用于8个以上的采样点
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列
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适用于应用的填料,微填料或毛细管
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连接数
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1/4或1/8 OD管压缩配件或1/8遗产
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采样
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内部单点或多点,泵可选
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警报器
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多级集中和故障警报,声音和视觉
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校准
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使用专用标准自动或手动
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校正方法
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气瓶,渗透校准器或响应因子
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显示
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7彩色液晶触摸屏
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输出/输入,标准
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RS-232
局域网/以太网
2个USB端口
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输出/输入,可选
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I / O板:6个数字输入,5个继电器作为触点闭合,1个模拟量
模拟板:4或8可配置为4-20mA或0-20mA
继电器板:8或16个可编程触点闭合
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工作温度
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32 至 104°F (0 to 40°C)
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工作湿度
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0 to 95% (不凝结)
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组态
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台式电脑或19“ (48.3cm)机架安装,3U
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其他规格(所有型号):
物理规格
- 5.12” H x 19” W x 16.3” D (13 cm x 48.26 cm x 41.40 cm)
- <30 Lbs. (13.64 kg)
电气要求
- 电压: 100 - 230 VAC 50/60 Hz, 2 A
预防性维护套件
基线8990渗透校准器
基准9130样品调节剂
基线9150多点采样器
气体发生器
- 氢气发生器
- 零空气发生器
预防性维护套件
渗透校准器
气体发生器
服务与支持选项
服务与支持选项
半导体空气分子污染
- 基本版本:TVOC、异丙醇、丙酮
- 高级版本可包括:TVOC、乙醇、丙酮、异丙醇、苯、PGME、甲苯、乙苯、间+对二甲苯、PGMEA 和邻Xyline